光谷12寸硅光芯片流片平臺投用
據(jù)中國光谷官微消息,近日,國內(nèi)首條基于12寸40nm CMOS工藝線的全國產(chǎn)化硅光PDK(工藝設(shè)計套件)、TDK(測試設(shè)計套件)及ADK(封裝設(shè)計套件)流片服務(wù)平臺正式在光谷投用,該平臺由國家信息光電子創(chuàng)新中心(NOEIC)建設(shè)運營,標志著光谷企業(yè)在硅光領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)又一關(guān)鍵突破。
據(jù)悉,該平臺創(chuàng)新構(gòu)建硅光MPW服務(wù)模式,通過將多個芯片設(shè)計集成于同一晶圓流片,實現(xiàn)成本分攤,大幅降低研發(fā)門檻。平臺基于40nm制程的硅光PDK1.0性能總體達到商用要求,其加工精度、波導損耗、光耦合效率等指標達國際先進水平。除了PDK外,平臺還集成了TDK和ADK,可提供芯片從集成設(shè)計到封裝驗證的全流程支撐,可滿足科研成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)品研制中的快速迭代需求,助力項目加速落地。
據(jù)了解,國家信息光電子創(chuàng)新中心2018年在光谷揭牌,承載解決我國信息光電子制造業(yè)關(guān)鍵共性技術(shù)協(xié)同研發(fā)和首次商業(yè)化應(yīng)用的戰(zhàn)略任務(wù)。7年多來,它已服務(wù)支撐300余家單位,完成800多次訂單,并突破了1.6T硅光互連芯片、2T芯粒、145GHz強度調(diào)制器等關(guān)鍵技術(shù)。
來源:大半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)
