據亦莊新城官微消息，近日，總投資11億元的富創(chuàng)精密半導體裝備零部件全工藝智能制造生產基地和集成電路裝備零部件研發(fā)制造基地在馬駒橋鎮(zhèn)智造基地竣工投用。

       據悉，這座占地約5.6萬平方米、總建筑面積5.9萬平方米的半導體零部件智造工廠，將填補國內5納米至7納米先進制程核心零部件全工藝生產空白。富創(chuàng)精密此次落地的基地從等離子噴涂到ALD鍍膜，從半導體反應腔零部件到勻氣盤產線，將建成國內一流的全工藝生產線，未來可為北方華創(chuàng)頭部裝備企業(yè)提供國產替代核心部件。

      據了解，富創(chuàng)精密基地預計明年正式投產，投產后將進一步加快集成電路裝備核心零部件國產化進程。
                                                                                                                                                                                                                                       來源：大半導體產業(yè)網